
SRD濕法清洗機
200mm晶圓噴涂濕法清洗機
型號:SCS-SRD09
產(chǎn)品特點
1.CDS獨立供液系統(tǒng)
2.自動補液/控溫/加熱/循環(huán)/液位感應(yīng)/排放
3.視窗開合門上配有檢測傳感器,檢測Cassette放置是否到位
4.工控機+PLC控制系統(tǒng)
5.SPM/HF循環(huán)系統(tǒng)由風(fēng)囊泵實現(xiàn)循環(huán),SC1/SC2循環(huán)系統(tǒng)由磁力泵實現(xiàn)循環(huán)
6.化學(xué)廢液靠重力排放至廠務(wù)端廢液管道內(nèi)
2.自動補液/控溫/加熱/循環(huán)/液位感應(yīng)/排放
3.視窗開合門上配有檢測傳感器,檢測Cassette放置是否到位
4.工控機+PLC控制系統(tǒng)
5.SPM/HF循環(huán)系統(tǒng)由風(fēng)囊泵實現(xiàn)循環(huán),SC1/SC2循環(huán)系統(tǒng)由磁力泵實現(xiàn)循環(huán)
6.化學(xué)廢液靠重力排放至廠務(wù)端廢液管道內(nèi)
應(yīng)用領(lǐng)域
廣泛應(yīng)用于濕制蝕刻、去膠、清洗等制程
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